芯片毛边蚀刻机的活动夹具

专利摘要:
本实用新型提供一种芯片毛边蚀刻机的活动夹具，具有载片框、多排平行的长条形活动盖板，每块活动盖板的中心位置具有轴孔，以便插入一根转动轴，转动轴的两个轴座分别设置在载片框两侧。活动盖板具有左侧段、中间段和右侧段，轴孔设置在中间段，左侧段和右侧段的两外侧面相互垂直，优选中间端的下底面为穹形拱顶。本实用新型依靠活动夹具的特殊结构，去除芯片边沿的用腐蚀性液体腐蚀去除毛刺时有效保护芯片主体，左右两侧可以灵活转换保护载片款中的芯片。
公开号:CN214336698U
申请号:CN202120570178.5U
申请日:2021-03-21
公开日:2021-10-01
发明作者:王锦敏；孙一军；周毅锋；李超
申请人:New Hengtong Jiangsu Technology Co ltd；
IPC主号:H01L21-687

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及一种芯片夹具。
[n0002] 芯片的尺寸较小，一般不易采用人工手持，芯片测试或者清洗时一般需要采用专用夹具去夹持芯片，才能保证测试精准或清晰干净，又不易碰坏精密的芯片。
[n0003] 申请号：201510492831X发明提出了一种用于半导体芯片的清洗夹具。其包括：底座，设置有用于放置芯片的V型槽，当所述芯片放置于所述V型槽上时，所述芯片的一相对侧边的下边沿抵靠于所述V型槽的侧壁上，并且所述V型槽的底部设置有贯通所述底座的底部的泄流孔；盖板，用于扣合于所述底座上，以覆盖所述V型槽，并且所述盖板上设置有贯通孔，该夹具中芯片非水平放置，清晰时没有保护，芯片容易堆叠在一起或者表面易被洗涤液腐蚀。
[n0004] 申请号：2019109211301发明公开了一种芯片贴装基板的清洗夹具及其使用方法，属于半导体芯片封装技术领域。其包括芯片贴装基板的清洗夹具Ⅰ和芯片贴装基板的清洗夹具Ⅱ，所述芯片贴装基板的清洗夹具Ⅰ由盖板Ⅰ（10）和载料盘（30）组成，所述盖板Ⅰ（10）扣合在载料盘（30）的上方，所述芯片贴装基板的清洗夹具Ⅱ由盖板Ⅱ（20）和载料盘（30）组成，所述盖板Ⅱ（20）扣合在载料盘（30）的上方；所述盖板Ⅰ（10）包括盖板Ⅰ本体（11）和复数个盖板Ⅰ单元，所述盖板Ⅱ（20）包括盖板Ⅱ本体（21）、复数个盖板Ⅱ单元和导流通孔Ⅱ（25）。该发明阻止了锡珠在清洗过程中被水流冲入到芯片与基板之间的空隙，但是对芯片本体的保护不够，表面容易出现冲洗划痕。
[n0005] 实用新型目的：
[n0006] 提供一种可以去除芯片毛边又能保护芯片主体部分不被腐蚀的芯片毛边蚀刻机的活动夹具。
[n0007] 技术方案：
[n0008] 本实用新型的芯片毛边蚀刻机的活动夹具，与芯片毛边蚀刻机配套使用，具有设置有多排多列芯片（该芯片是键合了金属引线框架并分切后的芯片）工位的载片框（其两端可以设置有轴座）、多根平行的长条形活动盖板（优选每条盖板能够覆盖一排或一列芯片工位），每块活动盖板的中心位置附近具有（沿着盖板长度方向）穿插转轴的转轴轴孔，以便插入一根转动轴，转动轴与载片框两侧的轴座形成转动连接。
[n0009] 活动盖板为沿着轴孔基本对称的三段式结构，左侧段、中间段和右侧段（转动轴轴孔设置在中间段），左侧段和右侧段的两外侧面相互垂直；中间段连接左侧段和右侧段，中间段的下底面为平顶或者向上凹陷的穹形拱顶，便于覆盖芯片时不接触芯片主体部位，保持芯片不易污染。
[n0010] 轴座上附带有活动盖板的限位功能（比如左侧段和右侧段各有能够延伸到载片框边缘的挡位销，能够被载片框的边框阻挡），保证活动盖板的转动角度不大于90°。
[n0011] 优选拱顶的两个边沿具有向内凹陷的滴水槽，液体从两侧喷射时，不会依靠液体表面张力扩散到下底面，而是从滴水槽外侧滴落，进一步保证芯片不被水流或者腐蚀液污染。
[n0012] 活动盖板向左侧转动一定角度时，右侧段的侧面与载片框中水平放置的芯片垂直，左侧段的外侧面与放到芯片工位中的芯片上表面平行，并且离开一定距离，避免旋转时触碰到芯片；活动盖板再向右侧转动90°时，左侧段的的侧面与载片框中水平放置的芯片垂直，右侧段的外侧面与放到芯片工位中的芯片上表面平行，并且离开一定距离，避免旋转时触碰到芯片。
[n0013] 本实用新型使用时，可以配套设置有一个喷头，喷射腐蚀性溶液或者水，使得芯片的毛边被腐蚀性溶液所溶解腐蚀或者被洗涤干净。
[n0014] 工作时，喷头从上方任意角度喷射洗涤或腐蚀时，喷射射流喷射清洗芯片的外围侧边，中心部位不会湿透或者不承受水流的压力，中间段覆盖在芯片上方，中间段对芯片有良好的保护作用。喷头的喷射角度变化时，活动夹具可以向左或者向右转动，中间段均能覆盖着芯片中心部位。
[n0015] 有益效果：
[n0016] 酸洗、碱洗或水洗时，喷头喷射不同的液体，对下方活动夹具中的芯片毛边进行腐蚀或者洗涤，放在载片框中的芯片的主体部分被活动盖板的中间段所覆盖，芯片的主体部分不易被腐蚀或弄湿，而芯片两侧的毛边（铜引线框架的毛刺）容易被腐蚀和洗涤。
[n0017] 这样，依靠活动夹具的特殊结构，既能够有效保护芯片主体，又能够有效去除芯片边沿的毛刺。避免人工接触，无须设计特定的喷射溶液的喷射方向转换装置，减少了转动动力机构的设置费用。
[n0018] 图1是本实用新型的一种连接结构示意图；
[n0019] 图2是本实用新型的一种活动盖板及芯片的相对形状和位置示意图。
[n0020] 图中，1-载片框；2-芯片；3-活动盖板左侧段；4-轴孔；5-滴水槽；6-中间段（平顶或穹形拱顶）。
[n0021] 如图1、2所示的芯片毛边蚀刻机的活动夹具，具有载片框、活动盖板，活动盖板上具有穿插转轴的转轴轴孔，以便插入一根转动轴，与载片框两侧设置的轴座形成转动连接。
[n0022] 如图2所示的活动盖板为三段式结构，左侧段、中间段和右侧段，转动轴轴孔设置在中间段，左侧段和右侧段的两外侧侧面相互垂直。
[n0023] 如图1、2所示，中间段的下底面优选为穹形拱顶，中间段的下底面两个边沿分别具有向内凹陷的滴水槽。
[n0024] 活动夹具的上方，设置两个水平间距一定距离的喷头，左侧的喷头采用向右下方喷射的0°-60°喷射角度，右侧的喷头采用向左下方喷射的-60°-0°喷射角度。
[n0025] 依靠活动夹具的特殊活动结构，液体任意角度喷射时，活动夹具左右转动，均能能够有效保护芯片主体，又能够有效去除芯片边沿的毛刺。

权利要求:
Claims (3)
[0001] 1.一种芯片毛边蚀刻机的活动夹具，具有设置了多排多列芯片工位的载片框、多排平行设置的长条形活动盖板，每块活动盖板上具有穿插转轴的转轴轴孔，以便插入一根转动轴，转动轴与载片框两侧分别设置的两个轴座形成转动连接；
其特征在于：活动盖板为三段式结构，左侧段、中间段和右侧段，转动轴轴孔设置在中间段，左侧段和右侧段的两外侧侧面相互垂直；
轴座上附带有活动盖板限位功能的挡位销，保证活动盖板的转动角度不大于90°。
[0002] 2.如权利要求1所述的芯片毛边蚀刻机的活动夹具，其特征在于：中间段的下底面为穹形拱顶。
[0003] 3.如权利要求1或2所述的芯片毛边蚀刻机的活动夹具，其特征在于：中间段的下底面两个边沿分别具有向内凹陷的滴水槽。

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公开号 | 公开日 | 专利标题

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202120570178.5U|CN214336698U|2021-03-21|2021-03-21|芯片毛边蚀刻机的活动夹具|CN202120570178.5U| CN214336698U|2021-03-21|2021-03-21|芯片毛边蚀刻机的活动夹具|